Abstract und Zusammenfassung zu
"Active Vibration Cancellation System for Commercial Air Tables Used in Scanning Probe Microscopy"
(Aktives Schwingungstilgungssystem für Lufttische in der Rastersondenmikroskopie)

Vorlesung


Achtung: der Text ist aus der Master/Diplomarbeit entnommen. Jeder Kandidat ist für seinen eigenen Text verantwortlich!

Zusammenfassung

"Die Zielstellung dieser Arbeit ist die Modifizierung eines kommerziell erhältlichen, passiv gedämpften Luftfedertisches in einen aktiv gedämpften. Passiv gedämpfte Tische werden häufig zur Schwingungsisolierung von z.B. Rastersonden Mikroskopen eingesetzt. Die zu entwickelnde aktive Dämpfung soll die Schwingungsdämpfung des Tisches erhöhen und somit die Empfindlichkeit gegenüber externen Schwingungen erniedrigen. Als aktives Stellelement wurde eine Magnetspule entwickelt und in den Tisch integriert. Ein sorgfältig ausgesuchtes Körperschallmikrophon registriert die eingekoppelten Schwingungen, die nach entsprechender Verstärkung und Filterung das Stellelement antreiben und somit den Regelkreis schließen. Der Regelkreis wurde mittels entsprechender Software simuliert und anschließend mit Messergebnissen an einem Prototyp verglichen."


Disclaimer: the text is extracted form the thesis. Each student is responsible for his own content!

Abstract

"The purpose of this project is to transform a passive commercial air-table, as used in scanning probe microscopy, into an active one to damp its response and cancel vibrations induced on it by various vibration sources. A magnet-coil configuration has been designed and integrated on an air-table to actuate it. A geophone has been selected to sense the induced vibrations, whose output signal is amplified, filtered, and compensated to drive the actuator, thus creating a closed loop system. After designing a compensator using software simulations, real time tests were performed to verify the results."

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